² 过滤滤料：H13-H14玻纤滤纸；
² 过滤效率：H13-H14，H13:99.97-99.99%@0.3μm、H14:99.995-99.999%@0.3μm（MPPS）；
² 框 材：铝型材框、铝板折框、镀锌框、不锈钢框；
² 护网材质：喷塑菱形网；
² 密封胶条：氯丁橡胶；
² 过滤尺寸：依据客户实际要求制定，铝型材参考厚度：46mm、50mm、69mm、80mm、90mm、96mm;
n 适用场合：
适用于超LSI制造工厂、半导体制造工厂、原子力研究中心、无尘室、层流设备、工作台等其他要求超高洁净度的场合。
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型号 |
箱体外形尺寸(W×H×D)(mm) |
额定风量(m3/h) |
过滤面积(m2) |
容尘量(g) |
初阻力(Pa) |
终阻力（Pa） |
过滤效率0.3μm |
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ZY-MHF-001 |
484×484×50 |
350 |
4.28 |
250 |
≤150 |
400 |
≥99.97% H13-H14 |
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ZY-MHF-002 |
610×610×50 |
600 |
6.84 |
410 |
≤150 |
400 |
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ZY-MHF-003 |
915×610×50 |
900 |
10.29 |
600 |
≤150 |
400 |
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ZY-MHF-004 |
1220×610×50 |
1200 |
13.74 |
800 |
≤150 |
400 |
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ZY-MHF-005 |
484×484×69 |
600 |
6.58 |
400 |
≤150 |
400 |
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ZY-MHF-006 |
610×610×69 |
1000 |
10.48 |
600 |
≤150 |
400 |
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ZY-MHF-007 |
915×610×69 |
1400 |
15.78 |
950 |
≤150 |
400 |
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ZY-MHF-008 |
1220×610×69 |
1800 |
21.08 |
1250 |
≤150 |
400 |
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ZY-MHF-009 |
610×610×96 |
1600 |
17.88 |
1050 |
≤150 |
400 |
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ZY-MHF-010 |
915×610×96 |
2400 |
26.99 |
1600 |
≤150 |
400 |
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ZY-MHF-011 |
1220×610×96 |
3200 |
36.12 |
2100 |
≤150 |
400 |
*注：本产品可以根据客户要求进行定制，如材质、尺寸等。
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